第一步：在《中華人民共和國企業所得稅月（季）度預繳納稅申報表（A類）》（A200000）和《資產加速折舊、攤銷（扣除）優惠明細表》（A201020）相關行次填報稅前一次性扣除情況。通過手工申報的，根據設備、器具購進情況，在《資產加速折舊、攤銷（扣除）優惠明細表》（A201020）第2行“二、一次性扣除”下的明細行次中，分別填寫“高新技術企業購進單價500萬元以下設備、器具一次性扣除”和“高新技術企業購進單價500萬元以上設備、器具一次性扣除”事項及其具體信息。填報完成后，將“納稅調減金額”列次的合計值（第3行第5列）同步填寫在《中華人民共和國企業所得稅月（季）度預繳納稅申報表（A類）》（A200000）第6行“資產加速折舊、攤銷（扣除）調減額（填寫A201020）”中。通過電子稅務局申報的，可在《資產加速折舊、攤銷（扣除）優惠明細表》（A201020）的下拉菜單中選擇相應的優惠事項，并填寫具體信息，申報系統將同步自動填報《中華人民共和國企業所得稅月（季）度預繳納稅申報表（A類）》（A200000）第6行“資產加速折舊、攤銷（扣除）調減額（填寫A201020）”。 　　 　　第二步：在《中華人民共和國企業所得稅月（季）度預繳納稅申報表（A類）》（A200000）第7行“減：免稅收入、減計收入、加計扣除”下的明細行次填報加計扣除情況。手工申報的，在明細行次填寫“高新技術企業設備、器具加計扣除（按100%加計扣除）”事項及加計扣除金額。通過電子稅務局申報的，申報系統自動填報相關事項及加計扣除金額。